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半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的氣路系統(tǒng)是至關(guān)重要的基礎(chǔ)設(shè)施之一，主要用于為實(shí)驗(yàn)室提供純凈、干燥、穩(wěn)定的氣體供應(yīng)，以滿足各種半導(dǎo)體制造工藝和實(shí)驗(yàn)的需求。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，常用的氣體包括高純度的氬氣(Ar)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氫氣(H2)以及各種特殊氣體如硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)等。半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)要求：：1.高純度：由于半導(dǎo)體器件的性能對(duì)雜質(zhì)極為敏感，因此供應(yīng)的氣體必須具有高的純度，通常要求99.999%（5N）以上，以避免雜質(zhì)對(duì)芯片制造的影響。2.穩(wěn)...

氣體鋼瓶管理存在的隱患近年來(lái)，高校實(shí)驗(yàn)室安全事故時(shí)有發(fā)生，與氣體鋼瓶相關(guān)的因素主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：1、存在僥幸心理，將氧氣、氯氣、氫氣、氨氣等助燃、易燃、易爆氣體放置在普通實(shí)驗(yàn)室；2、為實(shí)驗(yàn)方便，將多種氣體鋼瓶隨意放置在普通實(shí)驗(yàn)室內(nèi)設(shè)備附近，甚至在實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)臺(tái)邊放置多達(dá)十幾個(gè)鋼瓶，缺少安全設(shè)施，缺少專人監(jiān)管。此種現(xiàn)象在科研實(shí)驗(yàn)室尤為突出；3、防爆系統(tǒng)不健全，尤其是舊實(shí)驗(yàn)樓，在漏氣和發(fā)生事故時(shí)不能及時(shí)報(bào)警和得到快速妥善處理；4、人員責(zé)任分工不明確，細(xì)小問(wèn)題缺少專人監(jiān)督和處理...

氣體鋼瓶的結(jié)構(gòu)及種類氣瓶是高壓容器，一般用無(wú)縫鋼管制成圓柱形容器，壁厚50～80mm，底部為鋼質(zhì)方形平底的座，可以豎放。由于氣瓶的充氣和用氣不是同時(shí)進(jìn)行，所以只有一個(gè)接口管，即作進(jìn)氣口，又作出氣口。它的接口管一般是錐形的內(nèi)螺紋，用來(lái)裝配鋼瓶開(kāi)關(guān)閥。瓶閥是控制氣體出入的裝置，一般是用黃銅或鋼制造?？扇?xì)怏w鋼瓶如氫氣、乙炔的螺紋是反扣(左旋)的，非可燃?xì)怏w則為正扣(右旋)的。瓶閥的這種結(jié)構(gòu)可有效的防止可燃?xì)怏w與非可燃?xì)怏w裝錯(cuò)。瓶閥的外面有鋼瓶帽。瓶帽是瓶閥的保護(hù)裝置，它可以避免氣...

實(shí)驗(yàn)室氣體鋼瓶的管理氣體鋼瓶屬于危險(xiǎn)品，使用和貯存者應(yīng)加強(qiáng)安全防范意識(shí)，在確保安全的前提下方能使用。為了加強(qiáng)氣體鋼瓶使用者的安全責(zé)任意識(shí)，因此需進(jìn)行制度化管理。（1）按氣體的性質(zhì)制定相應(yīng)的管理制度和操作規(guī)程，并在實(shí)驗(yàn)室張貼氣體鋼瓶使用制度。鋼瓶使用管理按“誰(shuí)使用，誰(shuí)負(fù)責(zé)；誰(shuí)管理，誰(shuí)負(fù)責(zé)”的原則執(zhí)行，用氣單位和個(gè)人對(duì)所領(lǐng)用鋼瓶負(fù)有維護(hù)和保養(yǎng)的責(zé)任，操作要認(rèn)真仔細(xì)，按操作規(guī)程執(zhí)行，遠(yuǎn)離明火，如因使用不當(dāng)發(fā)生事故，或因保管不善損壞、丟失造成不良后果的，要追究領(lǐng)用人的責(zé)任。（2）為防...

氣體管道工程在使用時(shí)的注意事項(xiàng)1、管道試壓、氣密時(shí)，必須按壓要求進(jìn)行細(xì)致準(zhǔn)備工作，并經(jīng)過(guò)監(jiān)理、技術(shù)人員的檢查后方可進(jìn)行。2、所有試壓臨時(shí)盲板安裝時(shí)應(yīng)在安裝處作明顯標(biāo)示，以便在試壓結(jié)束后及時(shí)拆除。3、試壓時(shí)管線上需要開(kāi)啟或關(guān)閉的所有閥門必須掛警示牌，并標(biāo)明狀態(tài)。4、所有正在試壓過(guò)程的管線在明顯位置掛試壓警示牌，非試壓人員嚴(yán)禁靠近。5、嚴(yán)禁帶壓緊固及處理漏點(diǎn)。6、試壓全過(guò)程應(yīng)設(shè)立專人監(jiān)護(hù)，危險(xiǎn)區(qū)域設(shè)安全繩。7、堅(jiān)持安全用電，電動(dòng)工具應(yīng)裝設(shè)漏電保護(hù)。